在全自動影像測量儀上的測量均是單軸或二維平面坐標的測量，測量時先對焦，后對準，再讀數（計數），最終計算處理。讀數來自于標尺即光柵體系，對焦對準依托顯微鏡光學體系，還有一個直接影響測量作用和精度的照明光源，根據全自動影像測量儀辦法測量的儀器，假如被測件不能被有用正確的照明，則測量的結果明顯要偏離其實在尺度。除前述因素外，環境條件也是制約測量精度不行忽略的因素。根據上述剖析，能夠概括出以下幾個方面的差錯來歷：
 

 

    （1）光柵計數尺的差錯；

    （2）作業臺移動時存在的直線度、角擺帶來的差錯；

    （3）作業臺兩測量軸筆直度帶來的差錯；

    （4）顯微鏡光軸與作業臺面不筆直帶來的差錯；

    （5）測量室溫度偏離20℃參閱溫度帶來的差錯；

    （6）光源照明條件的改變帶來的對焦和對準差錯。

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